下载一种超真空铯/铷注入填充系统装置及工艺流程的技术资料

文档序号:16805060

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本发明公开了一种超真空铯/铷注入填充系统装置及工艺流程,本发明结构简单,使用方便,可以实现自动上料滴注填充,且设置有全自动定位盘及相对应铯/铷注入填充器可以准确的进行填充,填充迅速,不易氧化,成品率高,成本低,操作简单,可以大规模生产,利用...
该专利属于周兴明所有,仅供学习研究参考,未经过周兴明授权不得商用。

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