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本发明提供一种防止衬底背面溶液扩散的平台，用于衬底底面的平面支撑定位，包括平台本体，所述平台本体上设有低于平台本体表面的疏液槽，所述疏液槽设置在两相邻衬底的接合处。疏液槽可以有效避免在两个衬底样片间的狭缝透过的溶液对背面的污染，减少透过溶液...
该专利属于苏州威格尔纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州威格尔纳米科技有限公司授权不得商用。

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