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一种等离子体气体处理装置制造方法及图纸
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文档序号:16791777
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本实用新型涉及一种等离子体气体处理装置,包括壳体,所述壳体限定出一反应腔;进气口和出气口,分别设置在所述壳体的两端,并与所述反应腔连通;多个呈阵列设置的等离子体发生单元,且相邻阵列的等离子体发生单元交叉设置;和控制单元,所述控制单元与所述等...
该专利属于苏州盟力环境科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州盟力环境科技有限公司授权不得商用。
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