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基板传送装置及包含该基板传送装置的基板处理系统制造方法及图纸
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下载基板传送装置及包含该基板传送装置的基板处理系统的技术资料
文档序号:16787664
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本申请实施例公开了一种基板传送装置,其包括:传送机械臂,所述传送机械臂上设置有基板传送叉,所述基板传送叉包括一条主干和多条相互平行的分叉,每条所述分叉的一端连接在所述主干上,另一端为自由端;每条所述分叉上设置有多个凹槽,每相邻两条所述分叉上...
该专利属于雷仲礼所有,仅供学习研究参考,未经过雷仲礼授权不得商用。
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