下载一种LED用大尺寸氮化镓半导体片的制备方法的技术资料

文档序号:16781950

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本发明提出一种LED用大尺寸氮化镓半导体片的制备方法,采用二氧化硅气凝胶和氧化铝作为原料,制备大面积的氮化镓衬底,首先将二氧化硅气凝胶与氧化铝共混,得到氧化铝‑二氧化硅气凝胶复合溶胶,再经过涂布过程,旋涂在普通玻璃表面,再通过烧结工艺形成复...
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