下载半导体结构及其制造方法的技术资料

文档序号:16781703

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本发明揭示了一种半导体结构的制造方法。所述制造方法包括提供衬底,所述衬底上形成有第一介质层;在所述第一介质层上形成内核层,所述内核层包括多个条状结构及一连接结构,相邻的多个条状结构通过所述连接结构相连接形成第一切断区;在所述第一介质层上内核...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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