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提供了一种制造薄膜晶体管的方法、用于执行该方法的脱氢装置以及包括通过该方法制造的薄膜晶体管的有机发光显示设备。制造薄膜晶体管的方法包括：在用于执行非晶硅层的脱氢工艺的腔室中将氧含量从第一值降低至第二值，将其上形成有非晶硅层的基板插入到腔室中...
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