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一种用于制备Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜材料的装置，Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜材料生长在衬底材料上，采用前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应得到，铝、镓有机源混合溶解在溶剂中。通过采用本发明的制备Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜...
该专利属于南通大学所有，仅供学习研究参考，未经过南通大学授权不得商用。

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