下载一种对位装置及对位方法的技术资料

文档序号:16761741

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本发明提供了一种对位装置及对位方法,所述对位装置包括:用于采集待对位基板图像的图像采集器;用于承载待对位基板的承载台,所述承载台具有承载面;用于控制所述图像采集器在与所述承载台的承载面相平行的一预定直线方向上移动的平移机构,所述图像采集器与...
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