下载双沟道HEMT器件及其制造方法的技术资料

文档序号:16758872

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本公开的实施例涉及一种双沟道HEMT器件及其制造方法。该HEMT器件包括:半导体主体,包括异质结结构;在半导体主体上的电介质层;栅极电极;漏极电极,面向栅极电极的第一侧;和源极电极,面向栅极电极的与第一侧相对的第二侧;辅助沟道层,其在异质结...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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