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本实用新型公开了一种基于溅射薄膜技术的高性能扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，连接在转接上下法兰之间的扭柱，其特征在于：所述扭柱是二个相对的平行面分别采用溅射技术制造有薄膜敏感元件、另二个相对平行面加工弧形凹槽的金属柱。将四个应变敏感...
该专利属于北京中航兴盛测控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中航兴盛测控技术有限公司授权不得商用。

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