下载半导体压力传感器的技术资料

文档序号:16752417

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提供无需用于应力控制的热处理、且可靠性高的半导体压力传感器。半导体压力传感器(100A)具有:固定电极(18),其位于半导体基板(11)的主面;以及隔膜(61),其在半导体基板(11)的厚度方向上经由空隙(51)而至少在与固定电极(18)相...
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