下载一种增量式圆光栅尺光栅角位移检测系统及方法的技术资料

文档序号:16752095

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本发明涉及一种增量式圆光栅尺光栅角位移检测系统及方法,系统包括平行光源、增量式圆光栅尺、光电传感器阵列、信号处理单元、角位移显示单元以及高速电压比较器;其中,增量式圆光栅尺垂直平行光源的照射方向;光电传感器阵列放置于该增量式圆光栅尺光栅栅距...
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