下载钽靶材组件及其制造方法的技术资料

文档序号:16747771

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本发明提供一种钽靶材组件及其制造方法,包括:提供钽靶材、背板和焊料,所述钽靶材包括第一焊接面,所述背板包括第二焊接面;在所述钽靶材第一焊接面上形成浸润层;形成浸润层之后,通过所述焊料对所述钽靶材第一焊接面与所述背板第二焊接面进行焊接,形成钽...
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