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本发明提供一种对准装置及对准方法。该对准装置中，使承载图案的承载体(BL)与被转印图案的被转印体(SB)对向配置。基于拍摄承载体(BL)的外缘的至少一部分而得的结果，使第一保持设备(61)移动而将承载体(BL)定位在第一目标位置。基于拍摄被...
该专利属于斯克林集团公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯克林集团公司授权不得商用。

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