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一种基于磁流变泡沫的超光滑平面抛光方法技术
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文档序号:16739991
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本发明提供了一种基于磁流变泡沫的超光滑平面抛光方法,磁流变泡沫作为抛光介质,放置在抛光盘上,在外加磁场作用下形成柔性磁刷,抛光头和抛光盘分别带动工件和磁流变泡沫相对运动实现工件的抛光,抛光时磁流变抛光液与泡沫基体在磁场下相互耦合、共同作用提...
该专利属于北京交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京交通大学授权不得商用。
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