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本发明的目的在于提供一种表膜构件，在使表膜构件框架与光掩模贴合时，能减少从表膜构件框架向光掩模传递的应力，抑制光掩模的变形。本发明的表膜构件包括框状的表膜构件框架和张设于表膜构件框架的上端面的表膜，其特征在于，在表膜构件框架的与上端面相对的...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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