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掩膜装置、蒸镀设备以及掩膜装置制备方法制造方法及图纸
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文档序号:16714446
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本发明实施例提供一种掩膜装置、蒸镀设备以及掩膜装置制备方法,涉及蒸镀技术领域,用于改善掩膜版与待蒸镀基板之间的贴合不良,提高蒸镀效果。所述掩膜装置包括铁磁性材料的掩膜版,所述掩膜版包括:至少一个蒸镀区域以及至少一个非蒸镀区域;所述蒸镀区域设...
该专利属于上海天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马微电子有限公司授权不得商用。
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