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本申请涉及掩膜装置、蒸镀设备以及蒸镀方法。该掩膜装置包括框架，所述框架包括外框架以及内框架，所述内框架设置于所述外框架的内部；其中，所述外框架与所述内框架为一体成型结构。这样设置后，内框架和外框架无需在各自加工完成后进行连接，而是两者在同一...
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