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薄膜形成装置制造方法及图纸
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下载薄膜形成装置的技术资料
文档序号:16706811
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提供一种低成本且量产性较高的薄膜形成装置。在成膜室(11)的内部配置由转台构成的旋转装置(21),在对准场所(16)上进行了成膜对象物(5a、5b)的对准之后,在设于旋转装置(21)的基板支架(34a、34b)上配置进行了与掩模(4a、4b...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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