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树脂组合物、使用其的半导体元件的制造方法及半导体器件技术
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下载树脂组合物、使用其的半导体元件的制造方法及半导体器件的技术资料
文档序号:16706482
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树脂组合物,其特征在于,所述树脂组合物含有:(A1)具有特定的结构单元的碱溶性树脂;(A2)选自由具有与前述碱溶性树脂的反应性基团反应的取代基的聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物组成的组中的一种以上的树脂;及(B)...
该专利属于东丽株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽株式会社授权不得商用。
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