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本发明公开了一种硅异质结太阳能电池及其氢化非晶硅i膜层表面处理方法，采用氢氩混合或者氢氦混合气体对氢化非晶硅i膜层表面进行等离子体处理，既可以通过氩或者氦等离子体以物理方式对氢化非晶硅i膜层表面进行较优的清洗，还能够促进氢等离子体数量的增加...
该专利属于新奥光伏能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新奥光伏能源有限公司授权不得商用。

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