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电子装置的制造装置及制造方法制造方法及图纸
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文档序号:16702367
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本发明提供一种电子装置的制造装置及制造方法。电子装置的制造装置包括:平台,用于支撑基板;靶旋转体,布置于所述基板上,并沿着一方向延伸,且向所述基板提供彼此不同的第一沉积物质及第二沉积物质;腔室,收容所述平台及所述靶旋转体。所述靶旋转体包括:...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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