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一种具有分形结构的多孔金属薄膜透明导电电极的制备方法技术
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下载一种具有分形结构的多孔金属薄膜透明导电电极的制备方法的技术资料
文档序号:16702106
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本发明公开了一种具有分形结构的多孔金属薄膜透明导电电极的制备方法,包括以下步骤:(1)光刻法制备树叶叶脉图案;(2)聚苯乙烯微球掩膜版或二氧化硅微球掩膜版的制备;(3)聚苯乙烯微球或二氧化硅微球尺寸调节;(4)金属薄膜的沉积;(5)掩膜版的...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
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