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本发明涉及在电镀期间横流歧管的动态调节。本发明的实施方式涉及将一种或多种材料电镀到衬底上的方法和装置。通常，本发明的实施方式利用位于衬底附近的有沟道的板，在有沟道的板和衬底之间并在侧面上经由流限制环创建横流歧管。可以在衬底保持器的底表面和衬...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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