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本发明公开了一种蚀刻机盖体装置，多层圆盘结构包括从下往上依次安装的最下方圆盘、中间圆盘和最上方圆盘，圆盘的材质为耐酸的塑料或者不锈钢，最下方圆盘为圆孔状结构，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的3倍，圆孔按照一定的规律平行排列，所述中间圆盘为2...
该专利属于上海利正卫星应用技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海利正卫星应用技术有限公司授权不得商用。

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