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本发明提供蒸镀掩膜及其制造方法，在将掩膜主体用框体支撑的形式的蒸镀掩膜中，能够在抑制制造成本上升的同时，实现蒸镀掩膜的大型化，还能够维持蒸镀掩膜的平坦度，能够确保良好的再现精度及蒸镀精度。蒸镀掩膜(1)具备：掩膜主体(2)，其具备由多个独立...
该专利属于日立麦克赛尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立麦克赛尔株式会社授权不得商用。

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