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本实用新型公开了一种分子束外延生产设备中的2吋、3吋衬底托板结构，该托板结构包括3吋衬底托板、台阶型单元孔和2吋到3吋转换托板；16个台阶型单元孔均匀分布在3吋衬底托板内，2吋到3吋转换托板放置在3吋衬底的台阶型单元孔内；本实用新型中通过优...
该专利属于新磊半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新磊半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

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