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本实用新型公开一种链条式分段传送的磁控溅射镀膜机，划分为三个真空室段：进样室段、镀膜段、出样室段；进样室段、镀膜段、出样室段之间设置真空隔离装置；进样室段、镀膜段、出样室段中均设有独立运行的样片输送装置；样片输送装置包括链条驱动电机、传动机...
该专利属于北京创世威纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京创世威纳科技有限公司授权不得商用。

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