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本实用新型公开一种磁控溅射中预溅射防护与射频清洗混合装置，包括一预溅射防护板，设置在磁控溅射真空室内样品台与磁控靶之间，通过连接板与一电极杆连接，电极杆通过绝缘密封件穿出真空体，由旋转驱动电机驱动连接；电极杆还与射频电源电连接；电极杆旁边设...
该专利属于北京创世威纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京创世威纳科技有限公司授权不得商用。

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