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用于制造霍尔传感器的方法技术
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下载用于制造霍尔传感器的方法的技术资料
文档序号:16673598
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本发明公开了一种用于制造霍尔传感器的方法,其中,首先将隔离层(20)施加在具有ASIC的晶片(10)上或集成到晶片中,在该隔离层上布置有霍尔层(30)、例如由InSb或其他III‑V‑半导体材料制成的霍尔层,然后借助于激光(40)使该霍尔层...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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