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本发明提供用于在半导体工艺中进行缺陷分类的系统及方法。所述系统包含：通信线路，其经配置以从所述半导体工艺接收晶片的缺陷图像；及深度架构神经网络，其与所述通信线路进行电子通信。所述神经网络具有第一卷积神经元层，所述第一卷积神经元层经配置以对来...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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