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一种辐射敏感组合物，其含有抗蚀基材(A)、重氮萘醌光活性化合物(B)以及溶剂(C)，该组合物中的前述溶剂(C)的含量为20～99质量％，前述溶剂(C)之外的成分的含量为1～80质量％，前述抗蚀基材(A)为下述式(1)所示的化合物。(式(1)...
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