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含有热碱产生剂的可光成像组合物制造技术
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下载含有热碱产生剂的可光成像组合物的技术资料
文档序号:16672316
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根据本发明的实施方式包含正色调、可水显影、可自成像的聚合物组合物,其用于形成能够图案化以产生用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。...
该专利属于普罗米鲁斯有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过普罗米鲁斯有限责任公司授权不得商用。
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