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基于集成光子元件的传感器系统技术方案
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下载基于集成光子元件的传感器系统的技术资料
文档序号:16671805
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实施例包括一种传感器,所述传感器包括:衬底管芯;光子环形谐振器(RR),位于所述衬底管芯上;聚合物,位于所述RR上,对化学分析物具有亲和力;光子波导,位于所述衬底管芯上并耦合到所述RR;激光器,位于所述衬底管芯上并耦合到所述波导,用于以谐振...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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