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一种高速电力开关器件制造技术
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下载一种高速电力开关器件的技术资料
文档序号:16671796
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本实用新型公开了一种高速电力开关器件,包括控制信号输入端,第一开关连接端、第二开关连接端和高电子迁移率晶体管,高电子迁移率晶体管包括衬底;位于衬底上的半导体层,其中,半导体层包括异质结构,异质界面形成二维电子气,栅区的半导体层上形成有凹槽,...
该专利属于南方科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过南方科技大学授权不得商用。
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