温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的承载孔，所述承载孔由位于石墨框四周的边缘框条和位于石墨框中间的中央框条纵横交错构成，在所述石墨框四周的边缘框条上设有透气孔，使得透气孔和与其相邻的承载孔之间形成第二框条。...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。