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本实用新型提供了一种强流低能团簇离子束导向装置,包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁,电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离,两个电极之间区域构成离子束通道;磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定,两个磁铁均为永磁铁或电磁...该专利属于武汉飞安磁光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉飞安磁光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种强流低能团簇离子束导向装置,包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁,电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离,两个电极之间区域构成离子束通道;磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定,两个磁铁均为永磁铁或电磁...