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提供一种用于抛光或刨平工件表面的研磨剂组合物，该组合物包含约３０－５０％氧化铈；约８－约２０％气相二氧化硅；和约１５－约４５％沉淀法二氧化硅。还提供用该组合物来抛光或刨平工件表面的方法，以及用该方法制成的制品。...
该专利属于罗德尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗德尔公司授权不得商用。

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