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层叠体、临时粘接用组合物及临时粘接膜制造技术
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文档序号:16668315
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本发明提供一种即使将晶片超薄化也可难以产生翘曲的层叠体、临时粘接用组合物及临时粘接膜。一种层叠体,依次相互相邻而具有第一基材、临时粘接膜及第二基材,其中,临时粘接膜在25℃时的以JIS K 7161:1994为基准的拉伸弹性模量E为25~2...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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