下载一种蒸镀坩埚用加热装置的技术资料

文档序号:16661632

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本申请公开了一种蒸镀坩埚用加热装置,包括外壳,从外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环,支撑在相邻两个固定环之间的多个支撑柱,以及在两个固定环之间螺旋缠绕的加热丝。通过上述方式设置,可以有效地减少因开孔数量较多而导致固定环容易开裂的情况,从而...
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