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一种硅片翻转冲洗装置制造方法及图纸
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下载一种硅片翻转冲洗装置的技术资料
文档序号:16654628
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本实用新型公开了一种硅片翻转冲洗装置,包括冲洗箱、喷气盒和热风机,所述冲洗箱上设置有一个冲洗箱门,所述冲洗箱的一侧设置有一个电动机箱,所述电动机箱的外侧安装有一个控制面板,所述冲洗箱的底部设置有一个出水口,所述喷水管的一侧与水泵连接,所述喷...
该专利属于贵州大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州大学授权不得商用。
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