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研磨液组合物制造技术
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文档序号:1664998
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一种含有水系介质和研磨粒子的研磨液组合物,其中,该研磨粒子中粒径为2~200nm的研磨粒子含量为50体积%以上,该研磨粒子含有的粒径为2nm以上且小于58nm的小粒径研磨粒子为粒径2~200nm的研磨粒子总量的40~75体积%,含有的粒径为...
该专利属于花王株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过花王株式会社授权不得商用。
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