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本发明公开了一种硅基发光器件电极结构及其制备工艺，电极结构由硅基接触层、光反射层和有机接触层组成，其中所述电极结构从硅基底开始依次为硅基接触层、光反射层和有机接触层；所述电极结构的侧壁与所述硅基底呈角度，且所述电极结构与相邻凹槽的宽深比不小...
该专利属于南京迈智芯微光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京迈智芯微光电科技有限公司授权不得商用。

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