下载一种晶化纳米结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:16647175

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本发明公开了一种晶化纳米结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法,其包括以下步骤:生长衬底预处理、生长氧化锌种子层、第一次晶化处理、生长氧化锌电流扩展层、第二次晶化处理、生长纳米结构氧化锌表面层、第三次晶化处理。本发明制备方法通过在生长衬底上生长三...
该专利属于佛山市中山大学研究院;中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市中山大学研究院;中山大学授权不得商用。

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