下载OLED微型显示器IC片及其制备方法的技术资料

文档序号:16647015

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本发明公开了一种OLED微型显示器IC片及其制备方法,制备方法包括以下步骤:S1、通过离子注入法将氧离子注入到硅片内,形成注氧基片;S2、在惰性气体保护下,对所述注氧基片进行退火,以在所述注氧基片内形成SiO2埋层,制得SOI基片;S3、在...
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