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一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板技术
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文档序号:16646983
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本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板。薄膜晶体管的制造方法包括:在形成半导体层后,在半导体层的一侧形成第一绝缘层、第二绝缘层和位于第一绝缘层和第二绝缘层之间的栅极层,再在第二绝缘层远离基板的一侧形成第一金属层,并在垂直与基板...
该专利属于武汉天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉天马微电子有限公司授权不得商用。
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