温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置，在形成金属氧化物层之后直接对金属氧化物层进行导体化及图案化，得到有源层及位于有源层的两侧并与有源层连接的导体图案，再形成栅极绝缘层，以及栅极、源极和漏极。这样，在制作薄膜晶体管时，可...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。