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电真空器件介质窗片的金属化方法技术
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下载电真空器件介质窗片的金属化方法的技术资料
文档序号:16646942
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一种电真空器件介质窗片的金属化方法,包括以下步骤:步骤1、在基体上表面周期性间隔放置多个掩膜;步骤2、在基体放置有多个掩膜的一面形成金属化层;步骤3、去除多个掩膜;步骤4、在基体下表面周期性间隔放置多个掩膜,重复步骤2至3,使得基体的上、下...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。
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