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化学放大型正型感光性树脂组合物制造技术
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文档序号:16643624
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本发明提供化学放大型正型感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的带铸模的基板的制造方法和使用该带铸模的基板的镀覆造形物的制造方法,其中,使用所述化学放大型正型感光性树脂组合物,在具有金属表面的基板的金属表面上形成成为镀覆造形物的铸模的抗蚀...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。
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